靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長(zhǎng)的激光與不同的靶材相互作用時(shí)，會(huì)產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng) 。例如：蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜...鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

　　靶材的種類：⒈ 金屬靶材 ?、?陶瓷靶材 　⒊合金靶材

　　微電子領(lǐng)域：半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)靶材的品質(zhì)要求是最苛刻的，這就要求所制造的靶材具有更好的微觀結(jié)構(gòu)，靶材的結(jié)晶粒子直徑和均勻性已被認(rèn)為是影響薄膜沉 積率的關(guān)鍵因素平面顯示器用靶材：

　　現(xiàn)在的1TO靶材有兩種，一 種是采用納米狀態(tài)的氧化銦和氧化錫粉混合后燒結(jié)，一種是采用銦錫合金靶材。存儲(chǔ)技術(shù)用靶材：在儲(chǔ)存技術(shù)方面，高密度、大容量硬盤的發(fā)展，需要人鼉的巨磁阻薄膜材料，CoF ~Cu多層復(fù)合膜是 現(xiàn)在應(yīng)朋展廣泛的巨磁阻薄膜結(jié)構(gòu)。