(1) density，這個是最主要的，好的靶密度至少達到97%以上，所以大家買回靶來以后可以根據(jù)重量體積來計算一下你們的靶的密度和理論塊體的密度的比例有多少，低于90%的退貨。
(2) 開裂問題，套磁靶很容易開裂，所以大家一定要求用cu的背板，這個是必須的，另外靶材不宜太厚，小于5mm最好了。金屬靶是不大會開裂的，否則它的密度肯定很差。
(3) 電導(dǎo)率，對于AZO， ITO靶材來說，買回來了可以測測他們的電導(dǎo)率是多少，不同公司用的粉不同，電導(dǎo)率有很大差別，越小你 做出來的膜導(dǎo)電性肯定越好了。否則你死活都做不出你需要的電阻率的。
好的AZO靶材的AZO粉很重要，最好的是用純的AZO粉，但是價格很貴，而且工藝比較復(fù)雜，這樣的靶材做出來的膜電阻率最好。
目前國內(nèi)主要是采用ZnO和Al2O3粉摻在一起做，但是問題是Al很難摻雜進ZnO中，所以電阻率不大好。ITO相類似。
建議靶材不要自己做，還是花錢買些大公司的靶材。你自己做一方面浪費時間，另外一方面你距離真正的好地靶材的距離太遠(yuǎn)了，目前你的條件完全不可能實現(xiàn)。
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