鉬靶材主要用于平面顯示行業(yè),屬于鉬金屬制品生產(chǎn)鏈最頂端產(chǎn)品新靶材含有與刀具及模具等的母材的密著性高、且潤滑性出色的鉬。因此可省去用于提高密著性的襯底用靶材,降低成本。一般情況下,高硬度覆膜與母材的物理特性不同,會在界面產(chǎn)生過大應(yīng)力,容易剝離。為了解決這一問題,原來大多要形成使用碳化鎢及鉻等靶材的襯底層,提高密著性。
硬質(zhì)覆膜如果是含有鉬單一金屬層的、與氮化鈦(TiN)的混合組織,硬度低的鉬往往會導(dǎo)致整體硬底下降。因此,兩公司運用大同特殊鋼的懸浮感應(yīng)熔爐(LIF),確立了制造擁有鈦和鉬的均勻金屬組織的固溶體型合金靶材的工藝。還通過使用由該工藝制造的靶材,實現(xiàn)了高硬度的鉬鈦合金覆膜。
鉬靶材主要用于平面顯示行業(yè),屬于鉬金屬制品生產(chǎn)鏈最頂端產(chǎn)品,技術(shù)含量高、生產(chǎn)難度大。金鉬股份板材分公司面對國內(nèi)外的技術(shù)封鎖,在沒有技術(shù)參數(shù)、沒有有效資料、沒有生產(chǎn)經(jīng)驗可借鑒的情況下,全體員工齊心協(xié)力,從零開始,逐項攻克五大技術(shù)難關(guān)、150余項技術(shù)難題,不斷摸索、總結(jié)完善,終于自主研發(fā)、生產(chǎn)出具有完全知識產(chǎn)權(quán)的4.5代、5.0代、5.5代靶材,產(chǎn)品規(guī)格一次一次刷新紀錄。僅此一項為金鉬股份板材分公司節(jié)約資金1000余萬元。
以目前面板技術(shù)的發(fā)展而言,超高解析度(UHD 4K2K)的產(chǎn)品將愈來愈普及,而臺灣面板業(yè)者是這項技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)先趨。因應(yīng)這項技術(shù),電晶體必須做得更細緻,唯有穩(wěn)定性佳、純度更高與特性優(yōu)異的鉬濺鍍靶材,才能協(xié)助客戶達到這項需求,然而這並不是一項容易的任務(wù)。
在薄膜材料的領(lǐng)域,PLANSEE是臺灣面板產(chǎn)業(yè)的最佳夥伴,以鉬濺鍍靶材而言,PLANSEE百分百的一條龍自製生產(chǎn)線,是唯一能保證99.97%以上高純度與高品質(zhì)的供應(yīng)商,且已廣泛使用在UHD 4K2K的產(chǎn)品。
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